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尼康投產(chǎn)了支持第7代和第8代玻璃底板尺寸的液晶曝光裝置新機(jī)型。與該公司原機(jī)型相比,吞吐量提高了約20%。
支持第7代的“FX-75S”非常大可曝光1950mm×2250mm的玻璃底板。將該底板裁切成8枚42英寸面板時(shí)的吞吐量為496枚/時(shí),裁切成6枚48英寸面板時(shí)的吞吐量為378枚/時(shí)。該公司現(xiàn)行產(chǎn)品“FX-73S”的吞吐量為,42英寸時(shí)為423枚/時(shí),48英寸時(shí)為322枚。換算成制程時(shí)間時(shí),處理1枚玻璃底板所用的時(shí)間從68秒縮短為58秒。
支持第8代的“FX-85S”非常大可曝光2200mm×2500mm的玻璃底板。將該底板裁切成8枚46英寸面板時(shí)的吞吐量為480枚/時(shí),裁切成6枚52英寸面板時(shí)的吞吐量為322枚/時(shí)。該公司現(xiàn)行產(chǎn)品“FX-83S”的吞吐量為,46英寸時(shí)為400枚/時(shí),52英寸時(shí)為263枚。換算成制程時(shí)間時(shí),處理1枚玻璃底板所用的時(shí)間從72秒縮短為60秒。
此次投產(chǎn)的2款新機(jī)型的銷售起始時(shí)間為2008年10月。韓國和寶島的面板廠商計(jì)劃在2009年新建及增強(qiáng)第7代和第8代液晶面板生產(chǎn)線。
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